TFT玻璃清洗機清洗原理主要是物理沖擊的作用機理。粒徑小、附著頑固的顆粒清洗效果不明顯，清洗時蒸餾水和添加溶劑的消耗量大，增加了生產成本。無論是平板電視、筆記本電腦還是臺式電腦上的顯示器，還是4K電視，所使用的TFT屏幕都是由原片玻璃，經過切割、磨邊、鍍膜、蝕刻、剝離等工序制作而成。各道工序然后成為成品，每道工序之前或之后都要進行清洗，以保持其清潔度，以保證每一道工序的順利進行和成品率。

    TFT玻璃清洗機清洗方法包括以下步驟： 

   1.TFT玻璃清洗機提供超聲波清洗機、玻璃基板輸入輸送機、玻璃基板輸出輸送機。超聲波清洗機包括清洗槽和包含在清洗槽內的清洗液。TFT玻璃清洗機清洗槽內設置有若干個超聲波頻率發生器，頻率是不同的；

   2.玻璃基板輸入傳送 機器將待清洗的玻璃基板輸送到清洗槽中；

   3.將待清洗的玻璃基板浸入清洗槽的清洗液中；

   4.TFT玻璃清洗機將超聲波發生器產生的不同頻率的超聲波應用清洗液對玻璃基板進行超聲波清洗；

   5.玻璃基板輸出輸送機將清洗后的玻璃基板運出清洗槽。

在TFT-1XD的制造過程中，當玻璃基板表面存在的粒徑為線寬的1/3左右時，短線、短路等缺陷的發生頻率增加一倍。為了克服該缺陷，在玻璃基板的表面供給規定的處理液處理后，對該玻璃基板進行清洗處理 。    

       現有的TFT-1XD產業對玻璃基板的清洗工藝為：先等離子清洗（Plasma），或紫外清洗（EUV），或加深紫外清洗（DUV），再用刷子清洗（刷+淋）和壓力噴射清洗（Jet），流體清洗，對應的去除物質是有機殘留物和顆粒，顆粒大小在1um以上，但隨著大尺寸面板、高孔徑比、低線寬的技術發展要求，現有的多機去除不同粒徑顆粒的技術存在以下缺陷：多臺機器分別去除不同粒徑的顆粒，導致機器投入成本較高，多臺機器之間轉換基板造成工時浪費，且容易引入新材料基板轉換的過程粒子。